A 、光化学法
  原理：光波中的紫外光会使氧分子分解并聚合为臭氧。光化学法就是产生出波长 λ =185nm(10 9 m) 的紫外光谱，这种光最容易被 O2 吸收而达到产生臭氧的效果。
  优点：产生的臭氧纯度高，对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性。
  缺点：能耗较高。

B 、电化学法
  原理：利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧气体。目前电解液多为水内填加酸、盐类电解质或纯水。
  优点：浓度高、成份纯净、水中溶解度高。
  缺点：产量低、耗电量大、造价高。

C 、电晕放电法
  原理：模仿自然界雷电产生臭氧的方法，通过人为的交变高压电场在气体中产生离子体，使空气中的氧分子在离子体中反应，经碰撞合为O3 分子。
    优点：能效比好、经济、性能稳定、维护成本低、易操作、产量大。
    缺点：会伴随有NOX。