臭氧对物品表面的微生物也同样具有杀灭效果，应用也十分广泛如对餐具、玩具、器皿、医疗器具等进行消毒、灭菌，现在市场上的臭氧消毒柜，臭氧可弥漫在器具周围进行杀菌，耗电少，杀菌效果显著，弥补了高温高压蒸汽、红外线和紫外线消毒柜的不足。

       如对无菌室、洁净室、医院的工作服的消毒处理，传统采用高温高压蒸汽灭菌，灭菌后棉质衣料会由白变黄，多次灭菌后，衣服纤维变脆而脱落。直接影响衣服的寿命和无菌室、洁净室的洁净度，而现在的绸质工作服更不宜用高温高压蒸汽灭菌，而采用臭氧消毒处理，它对衣料的损伤程度较低，而且无任何残留、印痕和异味，并且较高温高压蒸汽灭菌的消毒效果相同或略好，试验中，对无菌工作服的试验用人为污染菌群，总体杀灭率≥95％。
 

       将臭氧气体用于种蛋消毒，比常规福尔马林熏蒸时间短，残留气体分解快，使用经济、方便，而且臭氧对种蛋还具有延迟性杀菌作用，使种蛋孵化孵出率明显提高。